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第一卷 第285章 暗影潜伏

  第一卷 第285章 暗影潜伏 (第1/2页)
  
  咔哒。
  
  配电箱的金属盖板被悄无声息地卸下,露出了后方直通无尘车间的通风管道百叶窗。
  
  那双戴着脏污劳保手套的手从口袋里摸出一个极小的压缩气罐,针头精准地扎进百叶窗的缝隙中。
  
  嗤——!
  
  一缕肉眼不可见的微量凝固气体,顺着管道内壁,无声无息地飘向了光刻机核心车间。
  
  车间内,刺目的白光照亮了整个操作台。
  
  高纯度的金黄色极紫外光刻胶原液,顺着高压微管,稳稳悬停在八英寸晶圆的正中心。
  
  “滴胶。”
  
  程美丽清冷的声音在车间内响起。
  
  一滴粘稠的原液精准滴落。
  
  “启动旋涂。”
  
  嗡——!
  
  旋涂机的真空吸盘死死锁住晶圆,主轴开始高速旋转,发出平稳的低鸣。
  
  金黄色的胶体在离心力的作用下,如同一层完美的薄膜,迅速向晶圆四周铺展开来。
  
  李副部长和几名核心专家屏住呼吸,死死盯着上方悬挂的激光平整度检测仪。
  
  红色的扫描光束在晶圆表面来回穿梭。
  
  滴!
  
  大屏上的数据疯狂跳动,最终死死卡在一个数字上。
  
  0.05微米。
  
  “不行!”
  
  技术组长急得满头大汗,一拳砸在金属护栏上。
  
  “误差卡在0.05微米下不去了!这个平整度根本达不到EUV光源的点火标准!”
  
  程美丽站在操作台前,目光锐利地锁定在高速旋转的主轴底座上。
  
  “机器没问题,是配重。”
  
  她双手快速在键盘上敲击,调出主轴的震动波形图。
  
  “新配方的胶体粘度太高,主轴原有的震动频率产生了微共振。”
  
  “停机。”
  
  嗡鸣声骤停。
  
  程美丽大步走上前,纤细的手指直接点在主轴左侧的金属卡扣上。
  
  “拿配重铅块来。”
  
  “在这里,加0.5克,微调动平衡。”
  
  两名高级技工满头大汗地冲上来,用医用镊子夹着极小的铅块,精准卡入指定位置。
  
  “重新点火旋转!”
  
  主轴再次咆哮着提速。
  
  就在这最关键的瞬间。
  
  头顶的百叶窗内,一股极度微弱的异样气流悄然卷入车间。
  
  滴滴滴滴!
  
  激光检测仪猛地爆发出凄厉的红色警报声!
  
  “怎么回事!”
  
  李副部长惊恐地抬起头。
  
  大屏上,原本平滑的胶体三维扫描图上,肉眼可见地鼓起了一层密密麻麻的微小突起。
  
  “有颗粒!”
  
  检测员尖叫出声,声音里透着绝望。
  
  “胶体表面发生未知凝固反应!刚铺好的涂层要报废了!”
  
  整个车间的空气瞬间凝固,所有人的脸色煞白如纸。
  
  陆川站在操作台侧后方,鼻翼微动,深邃的眼底猛地爆开一团骇人的杀机。
  
  化学凝固剂的微弱气味。
  
  他右脚重重蹬地,修长的身躯化作一道残影,直接扑向墙边的环境控制柜。
  
  砰!
  
  他一拳砸碎防护玻璃,狠狠拉下最顶端的红色拉杆。
  
  “锁死通风口!”
  
  他头也不回地怒吼,声音如炸雷般劈开车间的恐慌。
  
  “启动军用级内循环净化系统!”
  
  轰——!
  
  四台重型净化风扇同时爆发出狂暴的轰鸣,巨大的吸力瞬间将车间内的残余空气强行抽离。
  
  但涂层表面的凝固颗粒已经形成。
  
  “毁了……全毁了……”技术组长双腿发软,死死扒着操作台边缘。
  
  “闭嘴!”
  
  程美丽厉喝一声,半步未退。
  
  意识深处,系统面板瞬间亮起刺目的金光。
  
  【权限确认:系统微调开关已解锁。】
  
  她双手重重拍在操作台上,十指化作残影,疯狂敲击工业键盘,直接绕过机械保护程序。
  
  
  
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