956 这谁不喜欢 (第1/2页)
　　
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　　苏敏教授显然对回答十分满意，一脸说了三个好字。
　　
　　然后才笑着，语气和缓得追问了几个实验细节。
　　
　　江南不假思索得全都一一作答，回答得精准又轻松，看得出来对光刻机熟悉至极。
　　
　　但只有内行人才知道 不管是苏敏教授之前提问的关键性问题，还是现在追问得细节，江南其实从没有详细得把数据老老实实倾囊而出。
　　
　　而是把握好了那个微妙得边界，既详细得解答了问题，又保护了光刻机得核心机密。
　　
　　第一轮对话结束时，苏敏教授压抑不住自己激动得心情，欣慰至极得连声感叹。
　　
　　“有你这样的学生，是清大之幸，也是华国之幸啊……”
　　
　　“江南同学，等有机会回到清大，就光镜和阈值稳定性问题，到时候我必定亲自与你探讨，还望你到时候给我个机会啊。”
　　
　　江南：“一定会的，到时候我必定亲自前去拜访。”
　　
　　在她走后，沈清云教授立刻接过话头：“江南，我注意到你在介绍光刻机时说过材料方面的突破。比如说极紫外光刻对光学镜面的要求已经达到了原子级别，目前国际上只有德国蔡司及意大利思伦等极少数公司能够加工这个级别的镜面。你说过光刻机上的所有东西全部都是华国独立研发，那你们是如何解决超高精度光学加工和检测问题的？”
　　
　　又是一个相当关键得问题。
　　
　　“沈教授这个问题问得很好。”
　　
　　江南轻笑了一声，回答得依然从容。
　　
　　“光学镜面确实是另一个瓶颈问题。实不相瞒，在光刻机研制过程中，就是这个问题导致我们停滞了半年之久，因为目前华国根本做不出这个精度得实验，甚至没有任何类似实验或论文作为借鉴，我们的所有团队在这一点上称得上盲人摸象，全都是走一步看一步。不过幸好，最后我们摸索出了华国首创得‘工艺-检测-补偿’一体化闭环系统。”
　　
　　沈清云得声音肉眼可见变得急迫。
　　
　　“工艺—检测—补偿系统？”
　　
　　“不错。”
　　
　　江南详细解释道：“首先我们团队自主研发了基于量子干涉原理的纳米级面形检测装置，测量精度达到0.02纳米，比现有最先进技术整整提高了一个数量级。”
　　
　　“其次，我们开发了离子束修整与磁流变抛光协同工艺，通过实时检测反馈，能够动态调整修整参数，这一点也是我们团队首创。”
　　
　　“最关键的创新在于补偿算法。”
　　
　　江南的声音沉静又自然，说起科学原理深入浅出偏僻入里，不知不觉就能让人将这些晦涩得科学原理听进去。
　　
　　“我们建立了一套基于深度学习的误差与补偿模型。这个模型不仅能够处理已知误差，还能通过训练预测工艺过程中可能产生的新型误差模式提前进行参数调整。它就像一个看不见的手，能够灵活得帮我们及时处理运行过程中出现的误差问题，帮我们节省了不少时间精力。”
　　
　　“目前，我们的镜面加工精度达到了0.12纳米均方根值，已经批量化生产了十七套光学系统，良品率超过90%。”
　　
　　
　　
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